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Niederdruckplasmaanlage (10) mit einer zumindest teilweise evakuierbaren Behandlungskammer (12), einem Gaszuflussventil (16), einem Plasmagenerator (78) und einer Steuerung (32), wobei die Steuerung (32) einen Vakuumstromkreis (38), einen Gaszuflussstromkreis (42) und einen Plasmastromkreis (46) umfasst, wobei der Vakuumstromkreis (38) eine an die Niederdruckplasmaanlage (10) anschließbare Pumpe (14) und/oder ein Pumpenventil (38) der Niederdruckplasmaanlage (10), der Gaszuflussstromkreis (42) das Gaszuflussventil (16) und der Plasmastromkreis (46) den Plasmagenerator (78) steuert, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerung (32) ein durch einen Benutzer schrittweise verstellbares sequentielles Schaltelement (30) mit aufeinander folgenden Schaltstellungen zur Einstellung aufeinander folgender Prozessschritte umfasst, wobei das sequentielle Schaltelement (30) in jeder Schaltstellung durch mehrere voneinander elektrisch isolierte Schalter (56, 58, 60, 62, 64, 66) zum jeweiligen Unterbrechen und Schließen des Vakuumstromkreises (38), des Gaszuflussstromkreises (42) und des Plasmastromkreises (46) ausgebildet ist, wobei das sequentielle Schaltelement (30) eine erste Schaltstellung aufweist, in der der Vakuumstromkreis (38) geschlossen ist, aber der Gaszuflussstromkreis (42) und der Plasmastromkreis (46) unterbrochen sind, wobei das sequentielle Schaltelement (30) eine zweite Schaltstellung aufweist, in der der Vakuumstromkreis (38) und der Gaszuflussstromkreis (42) geschlossen sind, aber der Plasmastromkreis (46) unterbrochen ist, wobei das sequentielle Schaltelement (30) eine dritte Schaltstellung aufweist, in der der Vakuumstromkreis (38), der Gaszuflussstromkreis (42) und der Plasmastromkreis (46) geschlossen sind, wobei das sequentielle Schaltelement (30) zur Steuerung des Vakuumstromkreises (38), des Gaszuflussstromkreises (42) und des Plasmastromkreises (46) jeweils mehrere Schalter (56, 58, 60, 62, 64, 66) aufweist, die nacheinander offenbar und schließbar sind, und wobei das sequentielle Schaltelement (30) dazu ausgebildet ist, in jeder Schaltstellung eine Mehrzahl voneinander elektrisch isolierter Schalter (56, 58, 60, 62, 64, 66) des sequentiellen Schaltelements (30) zu schließen. |
