| 摘要 |
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로 상에 설치되어 공정 가스에 포함된 오염 물질을 제거하는 플라즈마 반응기를 제공한다. 플라즈마 반응기는 내부로 공정 가스가 통과하는 관 모양의 절연체와, 공정 챔버를 향한 절연체의 전단에 연결되는 제1 접지 전극과, 진공 펌프를 향한 절연체의 후단에 연결되며 공정 가스의 이송 방향을 따라 절연체의 내부 중심과 마주하는 대향부를 구비하는 제2 접지 전극과, 절연체의 외면에 고정되고 교류 혹은 고주파 전원부와 연결되어 교류 혹은 고주파 전압을 인가받는 구동 전극을 포함한다. |
