发明名称 |
包括将源极区域与漏极区域互连的半导体板的半导体器件 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体器件,包括衬底、第一源极/漏极(S/D)、第二S/D和半导体板单元。衬底在基本水平方向上延伸。第一S/D形成于衬底上。第二S/D设置在第一S/D之上。半导体板单元在基本垂直方向上延伸并且使第一S/D与第二S/D互连。本发明也公开了一种用于制造半导体器件的方法。本发明还涉及包括使源极和漏极互连的半导体板单元的半导体器件。本发明提供了一种半导体器件,包括衬底、第一源极/漏极(S/D)区域、第二S/D区域、以及半导体板。第一S/D区域设置在衬底上。第二S/D区域设置在第一S/D区域之上。半导体板将第一S/D区域与第二S/D区域互连并包括多个弯转。也公开了一种用于制造该半导体器件的方法。 |
申请公布号 |
CN105280705A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510124259.1 |
申请日期 |
2015.03.20 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
吴俊鹏;大藤彻;蔡庆威;王志豪;刘继文;汤皓玲;何炯煦;佘绍煌;谢文兴 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:衬底,在基本水平方向上延伸;第一源极/漏极(S/D),形成于所述衬底上;第二S/D,设置在所述第一S/D之上;以及半导体板单元,在基本垂直方向上延伸并且使所述第一S/D与第二S/D互连。 |
地址 |
中国台湾新竹 |