一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置

摘要

本实用新型公开了一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，包括侧挡板和底板，侧挡板由两块侧板拼合形成围挡，该围挡的两端位于拐角处设置有1/4圆弧状的围板结构，所述侧挡板有两块，两块侧挡板围合形成一侧面敞口的长方体，底板上具有一个半圆形缺口，所述底板有两块，底板卡设于两块侧挡板之间，底板与侧挡板的两个1/4圆弧围合形成完整的圆孔。本实用新型所述遮挡装置设计结构简单，使用轻便，可缩短维护时间，降低维护人员负荷，有效将溅射腔室内污染降到最低，降低短路风险，可提高制品膜层质量及溅射效率。

主权项

一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，其特征在于，包括侧挡板和底板，侧挡板由两块侧板拼合形成围挡，该围挡的两端位于拐角处设置有1/4圆弧状的围板结构，所述侧挡板有两块，两块侧挡板围合形成一侧面敞口的长方体，底板上具有一个半圆形缺口，所述底板有两块，底板卡设于两块侧挡板之间，底板与侧挡板的两个1/4圆弧围合形成完整的圆孔。