| 摘要 |
Способ формирования активной p-области солнечных элементов, включающий процесс диффузии бора с применением жидкого источника - треххлористого бора (BCl), отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется жидкий источник - треххлористый бор (BCl) при следующем расходе газов: кислород O=12 л/ч, азот N=380 л/ч, N+H=380 л/ч, BCl=2 л/ч(1000 ppm). |
