发明名称 试样保持构件的插拔机构以及图像取得装置
摘要 试样保持构件的插拔机构(30)中,在试样保持构件(6)的插拔位置(P1),承载台(32)由承载台驱动部(33)而向进入位置(Q1)驱动,并以承载面(73)朝着承载面定位部(74)成为下倾的方式从工作台(5)的开口部(42)突出。由此,在试样保持构件的插拔机构(30)中,即使不用手工操作来进行试样保持构件(6)的定位,也能够仅将试样保持构件(6)放置于承载面(73)而利用承载面(73)的下倾并由承载面定位部(74)进行定位。在由承载面定位部(74)的定位之后,如果承载台(32)由承载台驱动部(33)而驱动到退避位置(Q2)的话,则试样保持构件(6)从承载台(32)被交接到工作台(5),从而能够简单而且高精度地将试样保持构件(6)配置于工作台(5)的载置面(41)。
申请公布号 CN105283793A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201480033129.0 申请日期 2014.03.25
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 铃木泰基;渡边知志
分类号 G02B21/26(2006.01)I 主分类号 G02B21/26(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 杨琦
主权项 一种试样保持构件的插拔机构,其特征在于:是用于取得试样的图像的图像取得装置的试样保持构件的插拔机构,具备:工作台,具有载置所述试样保持构件的载置面和对应于所述试样保持构件中的所述试样的保持区域而设置于所述载置面的开口部;工作台驱动部,在所述试样保持构件的插拔位置与所述试样的图像取得位置之间驱动所述工作台;承载台,被配置于所述插拔位置,具有所述试样保持构件的承载面和对所述承载面上的所述试样保持构件的位置进行定位的承载面定位部;承载台驱动部,在以所述承载面朝着所述承载面定位部成为下倾的方式从所述开口部突出的进入位置与所述承载面从所述开口部退避的退避位置之间驱动所述承载台。
地址 日本静冈县