一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法

摘要

本发明提供一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法，制作特定的带有mark的标记图片，静态投图，使用吸盘相机标定mark的位置，从而通过计算得出各DMD之间的位置关系。通过本发明的方法能够快速精确的标定出光路的位置关系，误差在2um以内，大大提升了DMD之间的拼接良率，并且可以重复使用，标定过程简单快速，提高了工作效率。

主权项

一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法，其特征在于，所述曝光机包括四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄，所述曝光机下方设有载物平台，该载物平台上设置有用于记录平台坐标的左吸盘相机和右吸盘相机，所述方法包括如下步骤：1)制作一张标记图片，该标记图片上设置有两个标记点mark₀和mark₁，所述mark₀和mark₁位于同一条水平线上，mark₀与mark₁的中心间距为d；2)使用四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄分别静态投射步骤1)的标记图片；3)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₁成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₀，y₀)；4)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₂成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₁，y₁)；5)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₃成像光头下，启动图像处理算法，将mark₁移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₂，y₂)；6)移动载物平台，将右吸盘相机移动到DMD₃成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到右吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₃，y₃)；7)移动载物平台，将右吸盘相机移动到DMD₄成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到右吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₄，y₄)；8)计算四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄之间的位置关系：所述DMD₁与DMD₂的位置关系为：△x_DMD1‑2＝x₁‑x₀△y_DMD1‑2＝y₁‑y₀所述DMD₂与DMD₃的位置关系为：△x_DMD2‑3＝x₂‑x₁+d cosθ*M*PW△y_DMD2‑3＝y₂‑y₁+d sinθ*M*PW其中θ为DMD₃的倾斜角，M为光路成像的倍率，PW为网格精度；所述DMD₃与DMD₄的位置关系为：△x_DMD3‑4＝x₄‑x₃△y_DMD3‑4＝y₄‑y₃。