| 摘要 |
개선된 용량성 압력계가 개시되는데, 이 압력계는 (a) 공통 전극을 포함하는 격판 및 (b) 중심 전극 및 링 전극을 포함하는 전극 구조로서, 상기 격판은 상기 전극 구조에 상대적으로 (i) 상기 격판의 각각의 측면 상의 압력이 동일할 경우 제로 포지션 및 (ii) 최대 측정가능 차등 압력이 상기 격판에 인가될 경우 최대 차등 포지션(differential position) 사이에서 가동인, 격판 및 전극 구조; 상기 격판이 상기 전극 구조에 상대적으로 제약되고, 상기 공통 전극이 상기 압력계의 정렬 축에 상대적으로 상기 중심 및 링 전극으로부터 이격되고 이들과 축상으로 정렬되도록 상기 격판을 지지하도록 구현되는 격판 지지 구조; 및 상기 전극 구조를 지지하도록 구현되며 상기 링 내에 일체화되어 형성되며 정렬 축 주위에서 각을 이루어(angularly) 이격되는 적어도 3 개의 굴곡부(flexures)를 포함하는 유연 링을 포함하는 전극 지지 구조를 포함하고, 상기 전극 지지는 상기 유연 링 굴곡부의 위치에서 상기 격판에 대해 정위치에 클램핑된다. |
