摘要 |
플라즈마 형성 시스템 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 용기, 용기 둘레에 배치되고 제1단부, 제2단부, 제1권선, 및 제2권선을 갖는 단일 부재인 단일 코일로서, 제1권선은 제1단부로부터 연장되고 제2권선은 제1권선의 부분으로서 일체로 형성되고 제2단부로 연장되는 단일 코일, 단일 부재의 제1단부에 직접 전기적으로 결합된 에너지원, 및 단일 부재의 제2단부에 직접 전기적으로 결합된 커패시터를 포함하는 플라즈마 발생기 시스템이 제공된다. |