发明名称 PLASMA GENERATOR SYSTEMS AND METHODS OF FORMING PLASMA
摘要 플라즈마 형성 시스템 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 용기, 용기 둘레에 배치되고 제1단부, 제2단부, 제1권선, 및 제2권선을 갖는 단일 부재인 단일 코일로서, 제1권선은 제1단부로부터 연장되고 제2권선은 제1권선의 부분으로서 일체로 형성되고 제2단부로 연장되는 단일 코일, 단일 부재의 제1단부에 직접 전기적으로 결합된 에너지원, 및 단일 부재의 제2단부에 직접 전기적으로 결합된 커패시터를 포함하는 플라즈마 발생기 시스템이 제공된다.
申请公布号 KR101588885(B1) 申请公布日期 2016.01.26
申请号 KR20080087815 申请日期 2008.09.05
申请人 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 发明人 키우, 후아탄;청, 데이비드;코스누르, 프라샨스
分类号 H05H1/24;H05H1/30;H05H1/34 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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