| 摘要 |
ＥＵＶコレクター（１５）は、ＥＵＶ放射線源（３）からのＥＵＶ放射線（１４）を照明遠視野（１７ａ）内に伝達するように機能する。コレクター（１５）は、法線入射のための少なくとも１つのミラー（２３）を含む少なくとも１つの法線ミラーコレクターサブユニット（２３）を有する。更に、コレクター（１５）は、かすめ入射のための少なくとも１つのミラー（３０）を含む少なくとも１つのかすめ入射ミラーコレクターサブユニット（３０）を有する。コレクターサブユニット（２３，３０）の配置は、少なくとも同じく法線ミラーコレクターサブユニット（２３）での反射によって生成される内側の法線ミラー強度分布と、少なくとも同じくかすめミラーコレクターサブユニット（３０）での反射によって生成される外側のかすめミラー強度分布とで構成される遠視野（１７ａ）にわたるＥＵＶ放射線（１４）の全体強度分布がもたらされるようなものである。全体強度分布は、全遠視野（１７ａ）の４０％よりも大きい少なくとも全遠視野（１７ａ）の区画にわたって遠視野（１７ａ）のこの区画内の平均強度から２０％未満だけずれる。これは、コレクターの下流に配置された照明光学ユニットに対するビーム案内に課せられる要件の軽減をもたらす。【選択図】図２ |
