波面計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置

摘要

投影光学系の波面情報を求める波面計測方法であって、計測用レチクルのピンホールアレーから射出された光束を投影光学系に照射することと、投影光学系を通過した光束をＸ方向及びＹ方向に周期性を持ちＸ方向及びＹ方向の透過率分布が正弦波状の分布を有する回折格子に入射させることと、回折格子から発生する複数の光束による干渉縞に基づいて投影光学系ＰＯの波面情報を求めることと、を含む。回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の波面情報を高精度に計測できる。