カリウムを添加した薄膜光電子デバイスの製作

摘要

薄膜光電子デバイス（１００）を製作する方法（２００）及び堆積ゾーン装置（３００）であり、方法は、カリウム非拡散基板（１１０）を提供することと、バック接点層（１２０）を形成することと、ＡＢＣカルコゲン化物材料で作られる少なくとも１つの吸収層（１３０）を形成することと、少なくとも２つの異なるアルカリ金属を添加することと、少なくとも１つのフロント接点層（１５０）を形成することとを含み、上記少なくとも２つの異なるアルカリ金属のうちの１つはカリウムであり、上記フロント接点層の形成に続き、バック接点層（１２０）からフロント接点層（１５０）までの、バック接点層を含まず、フロント接点層を含む層間隔（４７０）での、少なくとも２つの異なるアルカリ金属を添加することに起因する含有量は、カリウムの場合、５００ｐｐｍ〜１００００ｐｐｍの範囲であり、上記少なくとも２つの異なるアルカリ金属のうちの他のアルカリ金属の場合、５ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍの範囲であり、カリウムの含有量の多くとも１／２、少なくとも１／２０００である。方法（２００）及び装置（３００）は、高い光起電力変換率及びより高速の製造速度を有する、可撓性基板上の光起電力デバイス（１００）のより環境に優しい製造に有利である。【選択図】図１