首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
氧化矽玻璃坩埚及其单晶矽的生产方法
摘要
地抑制氧化矽玻璃坩埚的压曲以及侧壁部向坩埚内部的翻倒。另外,抑制在矽单晶上发生位错,从而提高单晶收率。提供一种用于单晶矽的提拉的氧化矽玻璃坩埚,其具备:具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部、由曲线构成的研钵状的底部、和连接侧壁部和底部的弯曲部。在通过该氧化矽玻璃坩埚的旋转轴的截面上,以弯曲部的内表面的曲率从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。
申请公布号
TWI518216
申请公布日期
2016.01.21
申请号
TW101140631
申请日期
2012.11.01
申请人
日本超精石英股份有限公司
发明人
须藤俊明;佐藤忠広;北原江梨子;藤田刚司
分类号
C30B15/10(2006.01)
主分类号
C30B15/10(2006.01)
代理机构
代理人
刘育志
主权项
一种氧化矽玻璃坩埚,是用于单晶矽的提拉的氧化矽玻璃坩埚,包括:具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部,由曲线构成的研钵状的底部,以及连接所述侧壁部和所述底部的弯曲部,在经过所述氧化矽玻璃坩埚的旋转轴的截面上,所述弯曲部内表面的曲率以从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。
地址
日本
您可能感兴趣的专利
LEAD-ACID STORAGE BATTERY
OPTIMUM VALUE CALCULATION DEVICE, OPTIMUM VALUE CALCULATION SYSTEM, OPTIMUM VALUE CALCULATION METHOD, AND PROGRAM
ILLUMINATION APPARATUS
INFORMATION PROCESSOR, INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM
TEMPERATURE DETECTOR FOR TEST RUNNING
DOUBLE-SIDED ADHESIVE SHEET FOR ELECTRONIC COMPONENT
DOOR LOCK CONTROL SYSTEM
DISPLAY DEVICE, CONTROL METHOD, CONTROL PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
TERMINAL DEVICE AND SYSTEM
TOUCH PANEL, AND MANUFACTURING METHOD OF TOUCH PANEL
MACHINE FORMING SPECTACLE GLASS LENS PROVIDED WITH ROTATABLE TOOL CARRIER MOUNTED WITH SEVERAL WORKING TOOLS
DISPLAY DEVICE
COMMUNICATION CONTROL DEVICE, MESSAGE TRANSFER METHOD AND MESSAGE TRANSFER PROGRAM
INTEGRATED CIRCUIT, POWER SUPPLY DEVICE, AND LUMINAIRE
IMAGE PROJECTION APPARATUS AND IMAGE PROJECTION METHOD
LINE DRAWING DEVICE, TOUCH PANEL SYSTEM, LINE DRAWING METHOD, LINE DRAWING PROGRAM, AND RECORDING MATERIAL HAVING LINE DRAWING PROGRAM RECORDED THEREIN
MOTOR STATOR
ELECTRONIC APPARATUS AND ACCOUNT CREATION PROGRAM
REMOTE METER READING SYSTEM, UPPER AGGREGATION SERVER, MASTER STATION, AND SLAVE STATION
PHOTOGRAPHIC STICKER CREATION DEVICE, PHOTOGRAPHIC STICKER CREATION METHOD AND PROGRAM