位置检测装置、压印装置和用于制造器件的方法

摘要

本发明公开了位置检测装置、压印装置和用于制造器件的方法。一种用来自光源的光照射形成在两个物体上的衍射光栅并从所述衍射光栅接收衍射光以获取所述两个物体的相对位置的位置检测装置包括：光学系统，其被构造为使来自所述衍射光栅中的每一个的+n级衍射光和-n级衍射光彼此干涉，其中，n为自然数；光接收单元；和处理单元，其中，所述光接收单元从所述衍射光栅中的每一个接收双束干涉光，并且其中，所述处理单元通过使用来自所述衍射光栅中的每一个的衍射光的双束干涉光之中的、下述区域处的双束干涉光来获取所述两个物体的相对位置，在所述区域，来自各个衍射光栅的衍射光的双束干涉光彼此不重叠。

主权项

一种位置检测装置，所述位置检测装置用来自光源的光照射形成在两个物体上的衍射光栅，并接收来自所述衍射光栅的衍射光以获取所述两个物体的相对位置，所述位置检测装置包括：光学系统，其被配置为使来自所述衍射光栅中的每一个衍射光栅的+n级衍射光和‑n级衍射光彼此干涉，其中，n为自然数；光接收单元；和处理单元，其中，所述光学系统被配置为使来自所述衍射光栅中的每一个衍射光栅的+n级衍射光和‑n级衍射光以不同的角度入射到所述光接收单元上，其中，所述光接收单元接收来自形成在所述两个物体上的衍射光栅的+n级衍射光和‑n级衍射光的干涉条纹，并且其中，所述处理单元通过使用被所述光接收单元接收的、来自形成在所述两个物体上的衍射光栅中的每一个衍射光栅的衍射光的干涉条纹之中的、在来自各个衍射光栅的衍射光的干涉条纹彼此不重叠的区域处的干涉条纹来获取所述两个物体的相对位置。