发明名称 太阳能电池的制造方法
摘要 缩短制造太阳能电池所需要的时间。使用蚀刻液对结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)进行蚀刻,之后使用蚀刻成分的浓度高于上述蚀刻液的其他蚀刻液,以比使用上述蚀刻液进行的蚀刻低的蚀刻速度,进行结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)的蚀刻,从而在结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)形成纹理结构。
申请公布号 CN103597604B 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201280027090.2 申请日期 2012.05.24
申请人 三洋电机株式会社 发明人 中井拓夫;吉村直记;岛正树
分类号 H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I 主分类号 H01L31/0236(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种具备结晶硅基板的太阳能电池的制造方法,所述结晶硅基板具有形成有纹理结构的主面,所述制造方法的特征在于:使用蚀刻液对结晶硅基板的主面进行蚀刻,之后,使用蚀刻成分的浓度高于所述蚀刻液的其他蚀刻液,以比使用所述蚀刻液进行的蚀刻低的蚀刻速度,进行所述结晶硅基板的主面的蚀刻,从而在结晶硅基板的主面形成纹理结构。
地址 日本大阪府
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