发明名称 |
太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
缩短制造太阳能电池所需要的时间。使用蚀刻液对结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)进行蚀刻,之后使用蚀刻成分的浓度高于上述蚀刻液的其他蚀刻液,以比使用上述蚀刻液进行的蚀刻低的蚀刻速度,进行结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)的蚀刻,从而在结晶硅基板(10B)的主面(10B1)、(10B2)形成纹理结构。 |
申请公布号 |
CN103597604B |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201280027090.2 |
申请日期 |
2012.05.24 |
申请人 |
三洋电机株式会社 |
发明人 |
中井拓夫;吉村直记;岛正树 |
分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种具备结晶硅基板的太阳能电池的制造方法,所述结晶硅基板具有形成有纹理结构的主面,所述制造方法的特征在于:使用蚀刻液对结晶硅基板的主面进行蚀刻,之后,使用蚀刻成分的浓度高于所述蚀刻液的其他蚀刻液,以比使用所述蚀刻液进行的蚀刻低的蚀刻速度,进行所述结晶硅基板的主面的蚀刻,从而在结晶硅基板的主面形成纹理结构。 |
地址 |
日本大阪府 |