发明名称 |
一种纯离子真空电弧镀膜设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种纯离子真空电弧镀膜设备,包括阴极靶材、接地阳极、过滤器和真空腔室内设置的在其表面进行镀膜的基片,阴极靶材为石墨靶材,过滤器的管壁与+20V偏压电源相连接,接地阳极和过滤器之间设置有环形绝缘垫板,环形绝缘垫板内设置有环形的绝缘挡环。通过在过滤器的管壁上施加正偏压,使得管道壁处的电势增加,排斥正电荷离子束流,使原本荷质比较小、螺旋半径较大的离子也能通过过滤器,从而提高了沉积速率。另外,通过设置绝缘挡环,使得等离子体在激发后无法直接沉积在环形绝缘垫板的内环壁面上,避免环形绝缘垫板被熔融烧坏和延长环形绝缘垫板的维护周期,提高生产效率和沉积较厚的纳米薄膜。 |
申请公布号 |
CN204982040U |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201520542572.2 |
申请日期 |
2015.07.24 |
申请人 |
安徽纯源镀膜科技有限公司 |
发明人 |
张心凤;郑杰;尹辉 |
分类号 |
C23C14/32(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/32(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种纯离子真空电弧镀膜设备,其特征在于:包括阴极靶材、接地阳极、过滤器和真空腔室内设置的在其表面进行镀膜的基片,阴极靶材为石墨靶材,过滤器的管壁与+20V偏压电源相连接,接地阳极和过滤器之间设置有环形绝缘垫板,环形绝缘垫板内设置有环形的绝缘挡环;绝缘挡环的截面为L形,绝缘挡环包括环管和环管下端外围设置的环板,环板固定在环形绝缘垫板的下板面与接地阳极的上表面之间,环管的高度与环形绝缘垫板的厚度相吻合。 |
地址 |
230088 安徽省合肥市高新区创新产业园二期F1座1709室 |