一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器及其制备方法

摘要

一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器及其制备方法，它涉及一种传感器及制备方法。本发明的目的是要解决现有原子力显微镜都是基于微悬臂结构的力传感器，微悬臂结构的力传感器存在需要庞大的光检测系统，品质因子低，灵敏度低和无法用于极端的测试条件的问题。一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器是通过低温玻璃焊料将两个或四个尺寸和形状完全相同的石英晶振悬臂焊接在一起。方法：将两个或四个尺寸和形状完全相同的石英晶振垂直固定在焊接台上，使用电烙铁将熔融的低温玻璃焊料添加到焊缝处，再在320～375℃下将两个或四个尺寸和形状完全相同的石英晶振悬臂焊接在一起，得到石英晶振传感器。本发明可获得一种石英晶振传感器。

主权项

一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器，其特征在于一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器是通过低温玻璃焊料将两个或四个尺寸和形状完全相同的石英晶振悬臂焊接在一起。