发明名称 OPTICAL BEAM POSITIONING UNIT FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP2972065(A1) 申请公布日期 2016.01.20
申请号 EP20140772613 申请日期 2014.03.31
申请人 LABUDA, ALEKSANDER;CLEVELAND, JASON;WALTERS, DERON;PROKSCH, ROGER 发明人 LABUDA, ALEKSANDER;CLEVELAND, JASON;WALTERS, DERON;PROKSCH, ROGER
分类号 G01Q20/02;G01B11/30;G01Q10/04 主分类号 G01Q20/02
代理机构 代理人
主权项
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