用于垫片保护层的光敏树脂组合物、以及利用其来制造图像传感器的方法

摘要

本发明提供了一种用于垫片保护层的光敏树脂组合物以及利用该光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。该组合物包括(A)碱溶性树脂、(B)活性不饱和化合物、(C)光引发剂以及(D)溶剂。(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，该共聚物包括5至50wt％的具有以下化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以下化学式2的构成单元以及45至90wt％的具有以下化学式3的构成单元，并且提供了一种利用光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。在下述化学式中，R₁₁至R₁₃、R₂₁至R₂₄以及R₃₁至R₃₃与在具体实施方式中所定义的相同。用于垫片保护层的光敏树脂组合物具有良好的图案化和蚀刻性能以及耐化学性，因此可以提供没有下部外敷层的图像传感器，。

主权项

一种制造图像传感器的方法，包括：在层间绝缘层上形成光电二极管、垫片以及钝化层并除去在所述垫片上的钝化层以暴露所述垫片；使用由包含(A)1至50wt％的碱溶性树脂、(B)1至50wt％的活性不饱和化合物、(C)0.1至15wt％的光引发剂以及(D)余量的溶剂的光敏树脂组合物在暴露的垫片上形成垫片保护层，其中，所述(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，所述共聚物包括5至50wt％的具有以下化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以下化学式2的构成单元、以及45至90wt％的具有以下化学式3的构成单元：其中，在上述化学式1中，R₁₁至R₁₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基组成的组；其中，在上述化学式2中，R₂₁至R₂₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基组成的组，R₂₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基组成的组，以及n₂₄是0至5范围的整数；以及其中，在上述化学式3中，R₃₁至R₃₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基组成的组，以及R₃₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、未取代的芳基组成的组，所述共聚物进一步包括具有以下化学式4的构成单元：其中，在上述化学式4中，R₄₁至R₄₆独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基组成的组，以及R₄₇选自由取代或未取代的亚烷基、取代或未取代的环亚烷基组成的组；在所述层间绝缘层上形成滤色器、外敷层以及微透镜；以及除去所述垫片保护层以暴露所述垫片。