泡生法蓝宝石引晶形态控制方法

摘要

本发明涉及一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法，其包括如下步骤：a、将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内，在籽晶杆上安装籽晶，启动真空系统及加热系统，调节加热系统的电压，以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态，并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm；b、缓慢调节籽晶位置，使得籽晶逐渐接近熔体液面，同时调节加热系统的工作电压，以避免籽晶熔融；c、在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min；d、利用传统提拉工艺，旋转籽晶，调节加热系统的工作电压，控制结晶端部的直径小于50mm，并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。本发能够较好地控制结晶端部的形态；操作方便，提高引晶成功率及成品率。

主权项

一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法，其特征是，所述蓝宝石引晶形态控制方法包括如下步骤：（a）、将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内，在籽晶杆上安装籽晶，启动真空系统及加热系统，调节加热系统的电压，以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态，并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm；（b）、缓慢调节籽晶位置，使得籽晶逐渐接近熔体液面，同时调节加热系统的工作电压，以避免籽晶熔融；（c）、在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min~60min；（d）、利用传统提拉工艺，旋转籽晶，调节加热系统的工作电压，控制结晶端部的直径小于50mm，并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩；所述步骤（d）中，籽晶旋转的速率为2~3rpm，籽晶接触熔体液面初始阶段结晶端部的扩展速率小于0.3mm/min，并根据所述扩展速率调节提拉高度，以控制结晶端部的直径小于50mm；所述结晶端部的扩展速率为大于0.2 mm/min、小于等于0.3mm/min时，每5min提拉籽晶一次，每次提拉高度为1.5~2mm；所述结晶端部的扩展速率为0~0.2mm/min时，每5~10min提拉籽晶一次，每次提拉高度为1~1.5mm。