发明名称 一种基于电光-机械复合偏转的激光振镜及其偏转方法
摘要 本发明公开了一种基于电光-机械复合偏转的激光振镜及其偏转方法,包括电光偏转器、机械偏转器、2个驱动电路、激光器和同步机,所述激光器、电光偏转器和机械偏转器按照激光的传输路径依次排列,其中1个所述驱动电路与所述电光偏转器连接,另1个所述驱动电路与所述机械偏转器连接,所述激光器和2个所述驱动电路与同步机连接本发明公开了一种基于电光-机械复合偏转的激光振镜及其偏转方法,本发明将机械偏转器偏转角度大和电光偏转器响应速度快的优点相结合,两者协同大大提高了激光振镜的扫描速度,提高激光加工效率。
申请公布号 CN105259652A 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201510796610.1 申请日期 2015.11.18
申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 发明人 张永亮;朱启华;邓颖;康民强;罗韵;叶海仙;王少奇;许党朋;严雄伟;蒋新颖;龙蛟;李明中;周丹丹;田晓琳;陈林;周丽丹;胡东霞;郑奎兴;粟敬钦;王方;魏晓峰;郑万国
分类号 G02B26/08(2006.01)I 主分类号 G02B26/08(2006.01)I
代理机构 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人 赵慧
主权项 一种基于电光‑机械复合偏转的激光振镜,其特征在于,包括:电光偏转器、机械偏转器、2个驱动电路、激光器和同步机,所述激光器、电光偏转器和机械偏转器按照激光的传输路径依次排列,其中1个所述驱动电路与所述电光偏转器连接,另1个所述驱动电路与所述机械偏转器连接,所述激光器和2个所述驱动电路分别与同步机连接。
地址 621900 四川省绵阳市绵山路64号