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发明名称
BUMP STRUCTURE AND METHOD OF FORMING SAME
摘要
실시형태 BOT(bump on trace) 구조는, 집적회로에 의해 지지되는 콘택트 엘리먼트; 상기 콘택트 엘리먼트에 전기적으로 연결되는 UBM(under bump metallurgy) 피쳐; UBM 피쳐 상에 있는 메탈 범프; 및 기판 상의 기판 트레이스를 포함하고, 기판 트레이스는 금속간 화합물과 솔더 조인트를 통해 메탈 범프에 연결되고, 솔더 조인트의 제2 단면적에 대한 금속간 화합물의 제1 단면적의 비율은 40% 보다 크다.
申请公布号
KR101586957(B1)
申请公布日期
2016.01.20
申请号
KR20140166282
申请日期
2014.11.26
申请人
타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
发明人
첸 구안-유;린 유-웨이;쳉 유-젠;쿠오 틴-하오;첸 첸-쉬엔
分类号
H01L21/60;H01L23/488
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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