摩擦驱动致动器

摘要

一种摩擦驱动致动器，包括一壳体、一被驱动件、一压电组件以及一可挠性件。前述被驱动件可相对壳体位移，前述压电组件设置于壳体内并且位于被驱动件的外侧，前述可挠性件连接压电组件并且朝一第一方向延伸，其中当压电组件受一电压讯号驱动而朝第一方向变形时，所述可挠性件带动所述被驱动件相对所述壳体位移。整体而言，本发明除了具有结构简单与稳定性高的优点外，其定位精度还可达到奈米等级，故可广泛的应用在高精度的定位机构、扫描装置或原子力显微镜等领域。

主权项

一种摩擦驱动致动器，其特征在于，包括：一壳体；一压电组件，固定于所述壳体内；一被驱动件，可相对所述壳体位移；一可挠性件，连接所述压电组件并且朝一方向延伸，其中当所述压电组件受一电压讯号驱动而朝所述方向变形时，所述可挠性件带动所述被驱动件相对所述壳体位移；以及一摩擦垫，所述摩擦垫与所述被驱动件以摩擦接合，且所述摩擦垫包括一磁铁。