| 摘要 |
마이크로-밸브(micro-valve)는 오리피스를 구비하는 오리피스 플레이트; 및 상기 오리피스 플레이트에 이격된 관계로 결합되는 캔틸레버식 빔(cantilevered beam)으로서, 상기 오리피스가 상기 캔틸레버식 빔에 의해 개폐되는 위치들 사이에서 이동가능한, 상기 캔틸레버식 빔을 구비한다. 상기 캔틸레버식 빔은 하나 이상의 압전층으로 구성되어, 상기 하나 이상의 압전층에 하나 이상의 전기 신호를 인가하는 것에 응답하여 상기 캔틸레버식 빔의 만곡을 용이하게 한다. 상기 하나 이상의 압전층에 상기 하나 이상의 전기 신호를 각각 인가 및 종료하는 것에 응답하여, 상기 캔틸레버식 빔은 상기 오리피스 플레이트로부터 이격된 시작 위치로부터 상기 오리피스 플레이트를 향해 이동하여, 상기 오리피스 플레이트로부터 이격된 상기 시작 위치로 다시 복귀하거나, 또는 상기 오리피스 플레이트에 인접한 시작 위치로부터 상기 오리피스 플레이트에서 멀어지도록 이동하여, 상기 오리피스 플레이트에 인접한 상기 시작 위치로 다시 복귀한다. |
