アルミニウム合金製真空チャンバ要素

摘要

本発明は、組成が重量％で、Ｓｉ：０．４〜０．７、Ｍｇ：０．４〜０．７、Ｔｉ：０．０１〜＜０．１５、Ｆｅ＜０．２５、Ｃｕ＜０．０４、Ｍｎ＜０．４、Ｃｒ：０．０１〜＜０．１、Ｚｎ＜０．０４、他の元素は各々＜０．０５、および合計で＜０．１５、残りはアルミニウムである、厚さが少なくとも１０ｍｍに等しいアルミニウム合金製シートメタルの機械加工および表面処理によって作製された真空チャンバ要素に関する。本発明はまた、連続した下記の段階、厚さが少なくとも１０ｍｍの５０００系または６０００系のアルミニウム合金製シートメタルを供給し、前記シートメタルを真空チャンバ要素に機械加工し、前記要素を脱脂および／または酸洗いし、硫酸１００〜３００ｇ／ｌ、およびシュウ酸１０〜３０ｇ／ｌ、および少なくとも一つのポリオール５〜３０ｇ／ｌを含む溶液を使用して、１０〜３０℃の温度で陽極処理を実施し、任意で、好ましくは少なくとも約一時間、少なくとも９８℃の温度で、脱イオン水中でこのように陽極処理された製品を水和させる、ことからなる真空チャンバ要素の製造方法に関する。本発明による製品は、特に改良された均質性の特性、および好ましい腐食耐性を有する。【選択図】なし