清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置及光阻涂布机

摘要

本发明公开了一种清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置及光阻涂布机，该装置包括清洗台和设置在清洗台上方且出液口朝向清洗台方向的喷头，该喷头内设有锥形内腔，所述锥形内腔的尖锥部为所述喷头的出液口。本发明能够实现在节约生产成本的同时加强光阻涂布制程中橡皮擦的清洁力度，有利于提升光阻涂布的品质。

主权项

一种清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置，包括清洗台，其特征在于，还包括设置在清洗台上方且出液口朝向清洗台方向的喷头，该喷头内设有锥形内腔，所述锥形内腔的尖锥部为所述喷头的出液口，所述喷头与水平面呈一角度倾斜设置且该倾斜角度与橡皮擦相对于水平面的安装角度相同，所述喷头为具有第一锥形内腔和第二锥形内腔的组合喷头，所述组合喷头为两个相同的喷头组合在一起或者为第一锥形内腔和第二锥形内腔连通的子母喷头。