真空氦检漏装置及其密封连接管

摘要

一种真空氦检漏装置及其密封连接管，真空氦检漏装置还包括抽真空充气回收装置、真空腔组件和氦检漏仪等，密封连接管为内外套接的柔性内管和柔性外管，柔性内管和柔性外管的一端适于通过第一安装接头组件连通抽真空充气回收装置的充回管路，另一端适于通过第二安装接头组件连通待检漏工件，形成相互隔离的气体充回通道和泄漏气体回收通道。本发明提供的真空氦检漏装置及其密封连接管，通过泄漏氦气回收通道能将长时间处于高压条件的柔性内管泄漏的氦气回收，避免氦气浪费，检测精准；另外，通过第一安装接头组件及第二安装接头组件的设置，实现了柔性内管和柔性外管两者分别与抽真空充气回收装置和被检工件的可拆卸密封连接并且装卸方便。

主权项

一种真空氦检漏装置用密封连接管，其特征在于，包括：第一安装接头组件(6)，内部形成相互隔离第一气体流通通道(1)和第二气体流通通道(2)，所述第一气体流通通道的一端(11)适于密封连通真空环境外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述第二气体流通通道(2)与所述第一气体流通通道的一端(11)相应一端适于密封连通泄漏气体回收管路；相互套接的柔性内管和柔性外管，置于所述真空环境内，所述柔性内管和柔性外管的一端安装所述第一安装接头组件(6)，所述柔性内管与所述第一气体流通通道的另一端(12)密封连通，所述柔性内管与柔性外管之间留有间隙以形成气体回收通道(4)，所述气体回收通道的一端(41)与所述第二气体流通通道的另一端(22)密封连通；第二安装接头组件(7)，安装于所述柔性内管和柔性外管的另一端并将该端的柔性外管与柔性内管之间的气体回收通道(4)封堵，所述第二安装接头组件(7)内部形成第三气体流通通道(5)，所述第三气体流通通道的一端(51)适于密封连通所述柔性内管的另一端，另一端适于密封连通置于同一真空环境内的被检工件。