处理装置和测试方法

摘要

本发明提供一种处理装置，用于传送多个被测器件并使其与设置于测试装置的测试头上的多个插座相连，其中包括：位置调整部，用于在多个被测器件装载的测试盘上使各个被测器件移动，并调整相对于各个插座的位置；以及，器件装设部，用于将由位置调整部进行位置调整后的多个被测器件装设于多个插座上。所述处理装置能够高速且低耗电地将被测器件连接于测试装置的插座中。

主权项

一种处理装置，用于传送多个被测器件并将这些被测器件与设置于测试装置的测试头上的多个插座相连，其中包括：位置调整部，用于在装载有所述多个被测器件的测试盘上使各个所述被测器件移动，并调整相对于各个所述插座的位置；及器件装设部，用于将所述测试盘向所述插座推压，将由所述位置调整部进行位置调整后的所述多个被测器件装设于所述多个插座上；所述位置调整部用于调整被控制到测试温度的所述多个被测器件在加热部内的各自位置；所述位置调整部具有致动器，用于对两个以上的所述被测器件分别进行巡检，并调整各个所述被测器件相对于所述插座的位置。