钛磷酸盐发光薄膜、其制备方法及电致发光器件

摘要

本发明属于导电薄膜领域，其公开了一种钛磷酸盐发光薄膜、其制备方法及电致发光器件；该导电薄膜的化学通式为MTi_4-x-yP₆O₂₄:xCe³⁺，yTb³⁺；其中，MTi_4-x-yP₆O₂₄为基质，M选自Ca，Ba或Sr，Ce³⁺和Tb³⁺为发光中心离子，x的取值范围为0.01～0.05，y的取值范围为0.01～0.04。该导电薄膜在490nm和510nm处有良好的发光，是一种潜在新起的蓝绿光发光材料。

主权项

一种钛磷酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，该制备方法的步骤如下：S1、称取MO、TiO₂、P₂O₅、CeO₂和Tb₄O₇粉体，经过均匀混合后，在900～1300℃下烧结处理，制得陶瓷靶材；其中，MO、TiO₂、P₂O₅、CeO₂和Tb₄O₇粉体的摩尔比分别为1:3.91～3.98:3:0.01～0.05:0.0025～0.01，M选自Ca,Ba或Sr；S2、将步骤S1中制得的陶瓷靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体中，并将真空腔体设置成真空状态，该真空态的真空度为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；S3、调整磁控溅射镀膜工艺参数为：基靶间距为45～95mm，磁控溅射工作压强0.2～4Pa，氩气工作气体的流量为10～35sccm，衬底温度为250℃～750℃；接着进行制膜，得到薄膜样品；S4、将步骤S3中的薄膜样品置于0.01Pa真空炉中、退火温度为500℃～800℃下退火1～3h，得到化学通式为MTi_4‑x‑yP₆O₂₄:xCe³⁺,yTb³⁺的钛磷酸盐发光薄膜；其中，MTi_4‑x‑yP₆O₂₄为基质，Ce³⁺和Tb³⁺为发光中心离子，x的取值范围为0.01～0.05，y的取值范围为0.01～0.04。