| 发明名称 | 用于安置基板的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于安置基板的装置，具有多个布置在水平面内的、分别用于圆盘状基板(3)的支承座(4)，所述装置还具有多个在相邻的支承座(4)之间布置的支架(2、12)，所述支架(2、12)空间上相互分隔并且具有定心侧面(5)，所述定心侧面(5)沿着位于水平面内的圆弧线延伸，其中，多个分别位于支承座(4)侧面的定心侧面(5)构成布置在支承圆(6)上的贴靠位置(7)，用于接触地贴靠所述基板(3)的边缘(3’)的部段。为了进行便于使用的改进而规定，所述定心侧面(5)仅在贴靠位置(7)上与支承圆(6)相切，并且所述定心侧面(5)与所述支承圆(6)的圆心(8)的间距随着距所述贴靠位置(7)越来越远而不断增大。 | ||
| 申请公布号 | CN204959030U | 申请公布日期 | 2016.01.13 |
| 申请号 | CN201420857302.6 | 申请日期 | 2014.12.30 |
| 申请人 | 艾克斯特朗欧洲公司 | 发明人 | A.博伊德;O.费龙;陈晓军;K.L.格林 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 侯宇 |
| 主权项 | 一种用于安置基板的装置，具有多个布置在水平面内的、分别被支承圆(6)围绕的、分别用于圆盘状基板(3)的支承座(4)，所述装置还具有多个在相邻的支承座(4)之间布置的支架(2、12)，所述支架(2、12)空间上相互分隔并且具有定心侧面(5)，所述定心侧面(5)分别沿着位于水平面内的圆弧线延伸，其中，多个分别位于支承座(4)侧面且分别配属于相互不同的支架(2、12)的定心侧面(5)各自构成贴靠位置(7)，用于接触地贴靠所述基板(3)的边缘(3’)的部段，其特征在于，多个分别位于支承座(4)侧面的定心侧面(5)沿着相互不同的圆弧线延伸，该圆弧线的半径(R<sub>P</sub>)分别大于所述支承圆(6)的半径(R<sub>W</sub>)，并且所述定心侧面(5)仅在相应的贴靠位置(7)上与所述支承圆(6)相切。 | ||
| 地址 | 德国黑措根拉特 | ||