導電膜用素材、導電膜積層体、電子機器、ならびに導電膜用素材および導電膜積層体の製造方法

摘要

熱処理による結晶化が容易で、結晶化させたときのシート抵抗値が低く、かつ膜厚の増加も抑制された非晶質層を有する導電膜用素材を提供する。導電膜用素材は、透明基材と、前記透明基材上に積層されたインジウムスズ酸化物からなる非晶質層とを有する。前記非晶質層は、スズを酸化物換算で５．５〜９質量％含有するインジウムスズ酸化物からなり、膜厚が１５〜２５ｎｍ、かつ結晶化させたときのシート抵抗値が５０〜１５０Ω／□となるものである。