发明名称 盐及包含该盐之光阻组成物
摘要 明提供式(I)所示之盐:
申请公布号 TWI516466 申请公布日期 2016.01.11
申请号 TW100104717 申请日期 2011.02.14
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 市川幸司;坂本宏
分类号 C07C309/06(2006.01);C07C381/12(2006.01);C08F220/38(2006.01);C08F220/26(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 C07C309/06(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项 一种式(I)所示之盐: 其中,R1及R2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基,X1表示*-CO-O-Lb2-、*-CO-O-Lb4-CO-O-Lb3-、*-CO-O-Lb8-O-、及*-CO-O-Lb10-O-Lb9-CO-O-,其中,Lb2表示单键或C1-C15饱和烃基,Lb3表示单键或C1-C12饱和烃基,Lb4表示C1-C13饱和烃基,其限制条件为Lb3与Lb4之总碳数为1至13,Lb8表示C1-C14饱和烃基,Lb9表示C1-C11饱和烃基,Lb10表示C1-C11饱和烃基,其限制条件为Lb9与Lb10之总碳数为1至12,以及*表示与-C(R1)(R2)-键结之位置,R3表示氢原子或甲基,以及Z1+表示有机相对阳离子。
地址 日本