石墨烯（ｇｒａｐｈｅｎｅ）内连线及其制造方法

摘要

本发明之一个具体实施例，一种石墨烯内连线包括：第一绝缘膜；第一触媒膜；及第一石墨烯层。第一绝缘膜含有内连线渠沟。第一触媒膜是在该内连线渠沟两个侧表面上的该第一绝缘膜上形成。第一石墨烯层是在该内连线渠沟两个侧表面上的该第一触媒膜上形成，并包括与该两个侧表面呈垂直方向堆积的石墨烯薄片。

主权项

一种石墨烯内连线，包括：具有主要表面之基板；设在该基板主要表面上方且含有内连线渠沟之第一绝缘膜；在该内连线渠沟两个侧表面上的该第一绝缘膜上形成的第一触媒膜；在该内连线渠沟两个侧表面上的该第一触媒膜上形成的第一石墨烯层，此第一石墨烯层包括与该两个侧表面呈非平行方向堆积之石墨烯薄片；及电连接至该第一石墨烯层之第一接触插件，其中该等石墨烯薄片中至少一者之相反端部份是分别与该第一接触插件和第二接触插件直接接触。