INJECT AND EXHAUST DESIGN FOR EPI CHAMBER FLOW MANIPULATION

摘要

본 명세서에 기재된 실시예들은 일반적으로 프로세스 챔버에서의 유동 제어에 관한 것이다. 프로세스 챔버는 유동 제어 배기구와 광폭 주입구의 조합들을 포함할 수 있다. 유동 제어 배기구 및 광폭 주입구는 챔버에 이미 존재하는 가스들을 제어할 뿐만 아니라, 프로세스 가스들이 챔버에 진입하고 챔버를 떠날 때에 이러한 가스들의 제어된 유동을 제공할 수 있다. 그러므로, 전체 퇴적 프로파일이 더 균일하게 유지될 수 있다.