液体处理装置及液体处理方法

摘要

明提供一种能够有效率地洗净基板底面的液体处理装置。

主权项

一种液体处理装置，包含：基板保持部，其设有保持基板周缘部的保持构件，将基板保持水平；升降销板，在该升降销板上设有升降销，该等升降销系在一假想圆周上排列，该假想圆周系沿着该升降销板的周缘延伸且与其相邻，其中一贯通开孔系形成于该升降销板的中心部分；旋转驱动部，使该基板保持部与该升降销板一起旋转；第1喷嘴，其位于该基板保持部所保持之基板的底面的下方，同时对该基板保持部所保持之基板的底面吐出处理液，且其设有一中央构件及一棒状部分，该中央构件系与该基板的中央部对向，该棒状部分自该中央构件径向向外延伸且终止于该假想圆周之前以避免该棒状部分干涉该等升降销，其中该棒状部分具有复数个第1吐出口，该复数个第1吐出口在对向该基板保持部所保持之基板的中央部的位置与对向基板的周缘部的位置之间排列，且该中央构件系在该贯通开孔的上方；以及升降驱动部，用以使该升降销板与该第1喷嘴相对于该基板保持部一起升降，以藉由该等升降销将从该基板保持部解放的基板抬起；液体供给机构，其对该第1吐出口供给处理液；该第1吐出口以从该第1吐出口向基板底面吐出之处理液的吐出方向朝该旋转驱动部所旋转之基板的旋转方向倾斜的方式设置。