平板显示器制造用光罩、图案之转印方法及平板显示器之制造方法

摘要

明获得一种可确实且精致地转印微细图案之光罩、转印方法、及平板显示器之制造方法。

主权项

一种平板显示器制造用光罩，其特征在于：其系于透明基板上形成有包含至少遮蔽曝光之光之一部分之遮光部与上述透明基板露出之透光部之转印用图案者；上述转印用图案包含间距宽度P为6μm以下之线与间隙图案；于上述线与间隙图案，上述透光部系包含间隙图案；上述遮光部系包含具有沿着上述遮光部之外周形成为宽度0.1μm以上之边缘区域与在上述遮光部形成于上述边缘区域以外之部分之中央区域之线图案；上述中央区域系相对于透射上述透光部之上述曝光之光中所含之代表波长之光具有大致180度之相移量与20%以上之透射率；且上述边缘区域系相对于上述代表波长之光之透射率为50%以下。