发明名称 |
晶粒测试方法 |
摘要 |
晶粒测试方法,用来测试一晶圆之复数个晶粒,其包含有将该复数个晶粒放置于一承载盘上;将该复数个晶粒藉由一挑拣机由该承载盘挑拣至一晶圆框上;透过一晶圆侦测机对该复数个晶粒进行验证作业,以产生一验证结果;以及根据该验证结果,将该复数个晶粒之部分晶粒挑拣至该承载盘中。
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申请公布号 |
TWI516777 |
申请公布日期 |
2016.01.11 |
申请号 |
TW103107504 |
申请日期 |
2014.03.05 |
申请人 |
联咏科技股份有限公司 |
发明人 |
蔡俊严;郭育丞;薛念宗 |
分类号 |
G01R31/26(2014.01);G01R31/28(2006.01) |
主分类号 |
G01R31/26(2014.01) |
代理机构 |
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代理人 |
吴丰任;戴俊彦 |
主权项 |
一种晶粒测试方法,包含有:将该复数个已经切割分离的晶粒放置于一承载盘(Chip Tray)上;将该复数个晶粒藉由一挑拣机(Place and Pick)由该承载盘挑拣至一晶圆框(Wafer Frame)上;透过一晶圆侦测机(Prober)对该复数个晶粒进行验证作业,以产生一验证结果;以及根据该验证结果,将该复数个晶粒之部分晶粒挑拣至该承载盘中。
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地址 |
新竹市新竹科学园区创新一路13号2楼 |