发明名称 晶粒测试方法
摘要 晶粒测试方法,用来测试一晶圆之复数个晶粒,其包含有将该复数个晶粒放置于一承载盘上;将该复数个晶粒藉由一挑拣机由该承载盘挑拣至一晶圆框上;透过一晶圆侦测机对该复数个晶粒进行验证作业,以产生一验证结果;以及根据该验证结果,将该复数个晶粒之部分晶粒挑拣至该承载盘中。
申请公布号 TWI516777 申请公布日期 2016.01.11
申请号 TW103107504 申请日期 2014.03.05
申请人 联咏科技股份有限公司 发明人 蔡俊严;郭育丞;薛念宗
分类号 G01R31/26(2014.01);G01R31/28(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2014.01)
代理机构 代理人 吴丰任;戴俊彦
主权项 一种晶粒测试方法,包含有:将该复数个已经切割分离的晶粒放置于一承载盘(Chip Tray)上;将该复数个晶粒藉由一挑拣机(Place and Pick)由该承载盘挑拣至一晶圆框(Wafer Frame)上;透过一晶圆侦测机(Prober)对该复数个晶粒进行验证作业,以产生一验证结果;以及根据该验证结果,将该复数个晶粒之部分晶粒挑拣至该承载盘中。
地址 新竹市新竹科学园区创新一路13号2楼