| 摘要 |
<p>본 발명은 토출구의 간격을 미세하게 조절할 수 있는 액 공급 유닛에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛은, 제1바디와; 상기 제1바디와의 사이에 제1방향을 따라 토출구가 형성되도록 상기 제1바디와 결합되는 제2바디와; 상기 토출구의 간격을 조절하는 간격 조절 부재를 포함하되, 상기 제1바디의 외측벽에는 상기 제1방향을 따라 상기 외측벽에서 상기 토출구를 향해 하향 경사진 틈이 제공되고, 상기 간격 조절 부재는 상기 외측벽에서 상기 틈을 향해 상향 경사진 개구부를 통해 삽입되며, 상기 제1방향을 따라 복수개 제공되는 갭 조절 볼트를 가진다. 본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛에 의하면 갭 조절 볼트가 위치하는 부위와 아닌 부위의 갭 변형량의 차이가 작아 균일하게 처리액의 토출의 가능하여 미세 공정에서 기판 처리의 품질 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다.</p> |
