发明名称 Kapazitiver Messsensor und Positions-Messeinrichtung zur Ermittlung einer Position eines Messobjekts sowie Positioniervorrichtung mit einem derartigen Messsensor
摘要 Ein kapazitiver Messsensor (7, 14) weist ein Messsensor-Gehäuse (9, 15) auf, in dem zumindest teilweise eine Elektrode (10, 16) zur Bereitstellung eines Messsignals (PM, RM) angeordnet ist. Zur Auswertung des Messsignals (PM, RM) ist räumlich entfernt von dem Messsensor-Gehäuse (9, 15) eine Messelektronik (8a) angeordnet. Zur Signalverstärkung des Messsignals (PM, RM) ist in dem Messsensor-Gehäuse (9, 15) ein Transistor (28) angeordnet. Dadurch, dass der Transistor (28) das Messsignal (PM, RM) vor dessen Übertragung zu der Messelektronik (8a) verstärkt, wird ein höheres Signal-Rausch-Verhältnis erzielt. Hierdurch weist der kapazitive Messsensor (7, 14) eine höhere Messgenauigkeit auf.
申请公布号 DE102014224222(A1) 申请公布日期 2016.01.07
申请号 DE201410224222 申请日期 2014.11.27
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 KNOPF, JOCHEN
分类号 G01D5/24;G01B7/14 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
主权项
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