发明名称 Kontakte für Halbleitervorrichtungen und Verfahren zu deren Bildung
摘要 Ein Verfahren für ein Verfahren zum Bilden einer Halbleitervorrichtung enthält das Bereitstellen eines Halbleitersubstrats, das eine Unterseite entgegengesetzt einer Oberseite aufweist, wobei eine Schaltungsanordnung an der Oberseite angeordnet ist. Das Verfahren enthält ferner das Bilden einer ersten Metallschicht, die ein erstes Metall aufweist, über der Unterseite des Halbleitersubstrats. Die erste Metallschicht wird durch Aufbringen eines Adhäsionspromoters, gefolgt von dem ersten Metall gebildet.
申请公布号 DE102015110957(A1) 申请公布日期 2016.01.07
申请号 DE201510110957 申请日期 2015.07.07
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HARRISON, MARK;SPORN, MARTIN
分类号 H01L21/283;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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