一种射频发射线圈阻抗匹配电路及方法

摘要

本发明提供了一种射频发射线圈阻抗匹配电路及方法，谱仪的第一输出端向所述线圈匹配电路的第三输入端依次输出多个电压，所述多个电压通过所述射频阻塞器反向施加在可变电抗二极管上，改变所述线圈匹配电路的阻抗，所述谱仪的第一输出端每次输出一个电压后，所述谱仪的第二输出端输出射频发射信号，所述谱仪获取射频前向信号的功率最大，射频反射信号的功率最小时所对应的电压作为阻抗匹配电压，实现等效阻抗与传输线阻抗匹配。通过谱仪输出多个电压，自动查找多个电压中能够实现等效阻抗与传输线阻抗匹配的阻抗匹配电压，以所述阻抗匹配电压为输出，自动实现调节等效阻抗与传输线阻抗匹配，调节速度快，精度高。

主权项

一种射频发射线圈阻抗匹配电路，其特征在于，所述电路包括：射频发射线圈，线圈匹配电路，线圈接口电路，射频功率检测电路，射频放大器以及谱仪；所述线圈匹配电路的第一输出端通过第一直流阻塞器与所述射频发射线圈的第一输入端相连，所述线圈匹配电路的第二输出端通过第二直流阻塞器与所述射频发射线圈的第二输入端相连；所述线圈匹配电路的第一输入端通过第三直流阻塞器与所述线圈接口电路的第一输出端相连，所述线圈匹配电路的第二输入端通过第四直流阻塞器与所述线圈接口电路的第二输出端相连；所述线圈匹配电路包括可变电抗二极管和射频阻塞器，所述线圈匹配电路的第三输入端与所述谱仪的第一输出端相连；所述射频功率检测电路包括第一定向耦合器和第二定向耦合器，所述第一定向耦合器的输入端通过所述射频放大器与所述谱仪的第二输出端相连，所述第一定向耦合器的输出端与所述第二定向耦合器的输出端相连，所述第一定向耦合器的耦合端与所述谱仪的第一输入端相连，所述第二定向耦合器的输入端与所述线圈接口电路相连，所述第二定向耦合器的耦合端与所述谱仪的第二输入端相连；实现射频发射线圈阻抗匹配时，所述谱仪的第一输出端向所述线圈匹配电路的第三输入端依次输出多个电压，所述多个电压通过所述射频阻塞器反向施加在所述可变电抗二极管上，改变所述线圈匹配电路的阻抗，所述谱仪的第一输出端每次输出一个电压后，所述谱仪的第二输出端输出射频发射信号，所述第一定向耦合器的耦合端向所述谱仪的第一输入端输出射频前向信号的功率，所述第二定向耦合器的耦合端向所述谱仪的第二输入端输出射频反射信号的功率，所述谱仪获取射频前向信号的功率最大，射频反射信号的功率最小时，所述谱仪的第一输出端输出的电压作为阻抗匹配电压。