| 摘要 |
【課題】サイドスラストをなくし、シール性、動作の円滑性、耐久性の向上したＸＹ分離バルブ機構を提供する。【解決手段】実施形態によれば、Ｚメカニズムバルブ機構は、ポート４２ａを有する支持体２８と、支持体に第１方向に沿って往復移動自在に支持され、ポートを開閉するバルブ体７２ａと、バルブ体を開閉するＸＹ分離駆動機構７７と、を備えている。ＸＹ分離駆動機構は、支持体に取付けられた第１ヒンジ部材８０ａと、この第１ヒンジ部材に回動自在に取付けられた揺動部材８２ａと、第１ヒンジ部材に第１方向に往復動自在に支持され、バルブ体に連結された第１分離スライダ７８ａと、揺動部材に回動自在に支持されているとともに、第１方向と直交する第２方向に沿って往復移動自在に第１分離スライダに係合する第２分離スライダ８４ａと、揺動部材を押圧し、揺動部材を揺動させる押圧部材８６ａと、を備えている。【選択図】図９ |
