发明名称 |
一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法及装置 |
摘要 |
本发明公开了一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法,包括将基材置于玻璃器皿内的含有微细颗粒的悬浊液中;激光经过反射镜由凸透镜进行聚焦至基材需要植入微细颗粒的位置;当聚焦的激光能量大于液体的击穿阈值时,激光击穿悬浊液,产生等离子体膨胀辐射出等离子体冲击波;等离子体消失后诱导产生的空化泡溃灭时能对外辐射出冲击波;空化泡与基材表面相互作用产生高速微射流;产生的冲击波及高速微射流推动微细颗粒冲击植入基材。本发明采用的激光能量不是直接作用于植入靶材上,不会破坏靶材,采用含有微细颗粒的任意深度的悬浊液,源源不断补充植入靶材,以提高连续制备微细结构的效率。本发明还公开了上述方法的装置。 |
申请公布号 |
CN105215553A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201510596710.X |
申请日期 |
2015.09.18 |
申请人 |
广东工业大学 |
发明人 |
黄志刚;印四华;李洪辉;杨青天;郭钟宁;杨洋 |
分类号 |
B23K26/352(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/352(2014.01)I |
代理机构 |
广州市南锋专利事务所有限公司 44228 |
代理人 |
刘媖 |
主权项 |
一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:将基材(12)置于玻璃器皿(7)内的含有微细颗粒(8)的悬浊液(10)中;S2:激光器(1)产生高能脉冲激光(5);S3:激光经过光路系统中的反射镜(4)由凸透镜(6)进行聚焦至基材(12)需要植入微细颗粒的位置;S4:当聚焦的激光能量大于液体的击穿阈值时,激光击穿悬浊液,产生等离子体膨胀辐射出等离子体冲击波(11);S5:等离子体消失后诱导产生的空化泡(9)溃灭时能对外辐射出冲击波;S6:空化泡(9)与基材表面相互作用产生高速微射流;S7:产生的冲击波及高速微射流推动微细颗粒(8)冲击植入基材(12)。 |
地址 |
510090 广东省广州市越秀区东风东路729号 |