| 发明名称 | 热扩散腔室控制设备和方法 | ||
| 摘要 | 优选地，获得密封处理腔室(168)的内外热测量值允许控制系统(202)基于内外热测量值与预定值的比较来生成控制信号。向流体处置系统(216)提供控制信号，其中流体处置系统调制第一流体围绕密封处理腔室外部的流动。还向闭环热交换系统(220)提供控制信号，其中闭环热交换系统基于控制信号来调制在密封处理腔室的内腔内的第二流体的流动。还向开环热交换系统(218)提供控制信号，其中开环热交换系统调制密封处理腔室的内腔内的第三流体的流动。 | ||
| 申请公布号 | CN103547698B | 申请公布日期 | 2016.01.06 |
| 申请号 | CN201180068833.6 | 申请日期 | 2011.12.22 |
| 申请人 | 普尔·文图拉公司 | 发明人 | M.R.埃里克森;A.L.丁古斯;A.W.卡斯特三世;H.J.普尔;N.贾姆施迪 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 原绍辉;杨炯 |
| 主权项 | 一种通过包括下列的步骤来控制热扩散腔室的方法：监视一种密封处理腔室的外部温度；基于所述监视的密封处理腔室的外部温度来将外部热测量值传输到一种控制系统；比较所述外部热测量值与预定值；基于所述外部热测量值与所述预定值的比较来生成控制信号；向第一流体处置系统提供所述控制信号，其中所述第一流体处置系统基于所述控制信号来调制第一流体围绕所述密封处理腔室外部的流动；以及向第二流体处置系统提供所述控制信号，其中所述第二流体处置系统基于所述控制信号来调制在所述密封处理腔室的内腔内第二流体的流动。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||