发明名称 |
抽取清洗残余废气的气嘴结构 |
摘要 |
一种抽取清洗残余废气的气嘴结构,包括:一外抽气罩,该外抽气罩为圆管形结构,一端为一喇叭形,该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔;一内吹气罩,位于外抽气罩内,该内吹气罩为圆柱形,在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面,使其一端形成一矩形平面,在内吹气罩的另一端开有圆孔,该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口;其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置,该内吹气罩的矩形开口向外吹气,该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单,使用方便的优点,尤其在狭小的空间进行清洗时,侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。 |
申请公布号 |
CN105215008A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201510628671.7 |
申请日期 |
2015.09.28 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张志研;林学春;王奕博;于海娟;刘燕楠;梁浩;高文焱;林康 |
分类号 |
B08B7/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I;B21B45/06(2006.01)I |
主分类号 |
B08B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种抽取清洗残余废气的气嘴结构,包括:一外抽气罩,该外抽气罩为圆管形结构,一端为一喇叭形,该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔;一内吹气罩,位于外抽气罩内,该内吹气罩为圆柱形,在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面,使其一端形成一矩形平面,在内吹气罩的另一端开有圆孔,该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口;其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置,该内吹气罩的矩形开口向外吹气,该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |