微粒捕获装置

摘要

提供一种微粒捕获装置，具备：吸气部，其吸取从对象剥离的试样；微粒浓缩部，其为圆锥状，对由所述吸气部吸取且从所述圆锥状的大半径侧导入的所述试样进行浓缩，在设置于所述圆锥状的小半径侧的微粒捕获过滤器中捕获所述试样；加热部，其对所述微粒捕获过滤器进行加热；第一泵，其从所述圆锥状的所述大半径部侧吸取气流；第二泵，其间隔所述微粒捕获过滤器地被设置在所述圆锥状的相反侧，从所述圆锥状的所述小半径部侧吸取气流，并且容量比所述第一泵小；排出部，其通过来自所述第二泵的吸取，排出来自所述微粒捕获过滤器捕获到的所述试样的气流；以及控制部，其至少控制所述第一泵的动作。

主权项

一种微粒捕获装置，其特征在于，具备：吸气部，其吸取从对象剥离的试样；微粒浓缩部，其为圆锥状，对由所述吸气部吸取且从所述圆锥状的大半径侧导入的所述试样进行浓缩，在设置于所述圆锥状的小半径侧的微粒捕获过滤器中捕获所述试样；加热部，其对所述微粒捕获过滤器进行加热；第一泵，其从所述圆锥状的所述大半径部侧吸取气流；第二泵，其间隔所述微粒捕获过滤器地被设置在所述圆锥状的相反侧，从所述圆锥状的所述小半径部侧吸取气流，并且容量比所述第一泵小；排出部，其通过来自所述第二泵的吸取，排出来自所述微粒捕获过滤器捕获到的所述试样的气流；以及控制部，其至少控制所述第一泵的动作。