三维振镜的准直方法及其采用的准直系统

摘要

一种三维振镜的准直方法，包括以下步骤：将两个光阑固定安装在基准平台上；将激光器安装在该基准平台上，并使其发出的光路通过两个光阑；将观测定位仪安装在基准平台上，调整上述光路的光斑，使光斑位于观测定位仪的中心位置并固定；将扩束系统安装在该基准平台上，调整光路准直，观察其光斑在观测定位仪的位置，并保持不变；将Z轴振镜安装壳安装于基准平台上，使光路入光口和出光口的中心在光路准直线上；及取掉扩束系统，将Z轴振镜设置于Z轴振镜安装壳中，调整Z轴振镜的倾角，使光斑在观测定位仪的位置不变，然后固定Z轴振镜。上述方法分别调试Z轴振镜安装壳和Z轴振镜的准直，保证了Z轴振镜光路中心的准直性，提高了加工精度。本发明还提供用于上述方法的准直系统。

主权项

一种三维振镜的准直方法，用于准直Z轴振镜，其包括以下步骤：将第一光阑、第二光阑间隔地固定安装在基准平台上；将激光器安装在该基准平台上，调节该激光器并使其发出的光路通过该第一光阑与第二光阑；将观测定位仪安装在该基准平台上，使该第一光阑及第二光阑位于该激光器与该观测定位仪之间，该第一光阑邻近该激光器，调整上述光路的光斑，使该光斑位于该观测定位仪的中心位置并固定；将扩束系统安装在该基准平台上，且使该扩束系统位于该激光器及第一光阑之间，调整光路准直，观察其光斑在观测定位仪的位置，并保持不变化；将Z轴振镜安装壳安装于该基准平台上，并位于该第一光阑及第二光阑之间，使光路入光口和出光口的中心在光路准直线上；及取掉该扩束系统，将该Z轴振镜设置于该Z轴振镜安装壳中，调整该Z轴振镜的倾角，使光斑在该观测定位仪的位置不变，然后固定该Z轴振镜,从而完成了Z轴振镜光路中心的准直。