一种平面基板装卸转存装置

摘要

本实用新型公开了一种平面基板装卸转存装置，包括用于输送硅片的皮带，分别设于皮带两侧可沿垂直于皮带运动的方向上下移动的左承载架和右承载架，所述左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的用于支撑硅片侧边的支撑块，所述左、右承载架分别设有用于整齐硅片两侧边的左整片板和右整片板，以及设置在左、右承载架之间用于整齐硅片运动前端的前整片板。本实用新型结构简单，可以将各层叠的硅片四周对齐，并且不损伤硅片，减少可引发硅片损坏的硅片位置误差。

主权项

一种平面基板装卸转存装置，其特征在于，包括用于输送硅片的皮带，分别设于皮带两侧可沿垂直于皮带所在平面上下移动的左承载架和右承载架，所述左、右承载架内侧从上至下设有多层间隔均匀的用于支撑硅片侧边的支撑块，所述左、右承载架上分别设有用于整齐硅片两侧边的左整片板和右整片板，以及设置在左、右承载架之间用于整齐硅片运动前端的前整片板。