洗净处理方法

摘要

明提供一种无需设置专用之洗净机构便可洗净杯子之上表面及周围之洗净处理方法。使旋转基座21以250rpm~350rpm(第1转速)旋转，并且使包围旋转基座21之周围之处理杯40之上端低于旋转基座21之保持面21a而自喷出头31向保持面21a供给洗净液。接下来，藉由自旋转之旋转基座21之保持面21a飞散之洗净液将处理杯40之外侧上表面43d洗净。其后，使旋转基座21以大于第1转速之350rpm~450rpm(第2转速)旋转，并且自喷出头31向保持面21a供给洗净液，藉由自旋转之保持面21a飞散之洗净液将较处理杯40更靠外侧之隔板15及腔室10之侧壁11洗净。

主权项

一种洗净处理方法，其特征在于包括：杯部上表面洗净步骤，其系使具有与应保持之基板之下表面相对向之保持面之基板保持机构以第1转速旋转，并且使包围上述基板保持机构之周围之杯部之上端低于上述基板保持机构而自洗净液供给喷嘴向上述保持面供给洗净液，藉由自旋转之上述保持面飞散之洗净液而将上述杯部之外侧上表面洗净；以及杯部外区域洗净步骤，其系使上述基板保持机构以大于第1转速之第2转速旋转，并且自上述洗净液供给喷嘴向上述保持面供给洗净液，藉由自旋转之上述保持面飞散之洗净液而将上述杯部之周围之杯部外区域洗净。