在两个相背对之宽面上各载有一基板之基板载具

摘要

明系有关一种基板载具及一种与此基板载具配合作用的CVD反应器，此种基板载具可设于CVD反应器或PVD反应器(20)内，特别是用于沈积碳奈米管或石墨烯，包括用于容置待涂布基板(6)的第一宽面区(2)及背对第一宽面区(2)的第二宽面区(3)。为了对用于沈积碳奈米管之装置或装置部件进行改良，提出以下建议：第一宽面区(2)及第二宽面区(3)各具有基板容置区(4、5)，在此等基板容置区内设有紧固元件(14、14'、15)，此等紧固元件可分别将基板(6)或基板(6)之区段固定于宽面区(2、3)上。本发明另亦有关一种包含此种基板载具(1)的CVD反应器。

主权项

一种基板载具，可设于CVD反应器或PVD反应器(20)内，特别是用于沈积碳奈米管及石墨烯，包括用于容置待涂布基板(6)的第一宽面区(2)及背对该第一宽面区(2)的第二宽面区(3)，其中，该第一宽面区(2)及该第二宽面区(3)各具有基板容置区(4、5)，在此等基板容置区内设有紧固元件(14、14'、15)，此等紧固元件可分别将基板(6)或基板(6)之区段固定于该宽面区(2、3)上，其特征在于：此基板载具(1)为扁平体，而且，该基板容置区(4、5)具有两个相背对的第一边缘(4')及横向于该等第一边缘(4')而延伸的第二边缘(11)，其中，该等第一边缘(4')各连接一操作段(7)，此操作段具有突出于该等第二边缘(11)之外的突出部(12)。